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湿法辅机 - 型号：df-2000b系列/df-3000b系列 ，cassetteless type 和 cassette type
- 适用于晶圆尺寸：6吋，8吋，12吋
- 适用工艺：b clean，oxide remove, nitride remove, pr strip, particle remove, solvent clean, wafer reclaim, metal etch等
- 应用领域：semiconductor, led, sollar cell
- 型号：fy-2000s系列/fy-3000s系列 - 适用于晶圆尺寸：8吋，12吋 - 适用工艺：oxide remove, pr strip, particle remove, metal etch等 - 应用领域：semiconductor - 型号：sz-xxxx系列/cz-xxxx系列 - 适用于晶圆尺寸：8吋，12吋 - 适用工艺: 供酸系统，炉管清洗，零部件清洗，片盒清洗 - 应用领域：semiconductor，led，sollar cell -pg电子游戏的业务范围：涵盖暖通、给排水、净化、照明、消防、温湿度控制、新风循环控制等几大部分 -承包方式：各类施工资质齐全，可根据客户要求进行总承包施工或任一单项系统施工 -无尘室等级：100级/1000级/10000级 -优势：专业设计、施工人员齐备，经验丰富，可承接各类不同级别、不同规模的无尘室相关工程 -pg电子游戏的业务范围： 产品涵盖ep级、ba级高纯净管道需求，管、阀、压力控制等使用国际一流品牌，品质保障 -优势： 气体供应精准、稳定、安全，可跟据客户要求进行功能定制自动n2吹扫、泄漏侦测装置、喷淋稀释装置、供应压力检测等装置。特种气体监控系统tgms和可燃气体监控系统fgms，实现24小时在线监控 -pg电子游戏的业务范围： 8吋，12吋fab厂ccss项目，含设计、安装、调试等 -类别：高纯化学品供给系统，研磨液供给系统，散装化学品供应系统，化学品混合稀释系统，各种溶剂集中供应系统 -优势： 有多家国际国内知名12吋fab厂ccss项目实操经验，且均已验收 |