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| 设备型号： | df-3000b |
| 设备类型： | cassette-type & cassetteless-type |
| 晶圆尺寸： | 300mm |
| 设备配置： | 8~12 个槽体, 2~6 个robot（可定制） |
| 可搭载先进超声波, 兆声波 | |
| 槽体过温保护, 各module配置漏液传感器 | |
| 多级wafer保护措施 | |
| 支持化学液c.c.s.s / l.c.s.s | |
| 自动换酸, 自动补液、配液( 可兼容多种浓度配比) | |
| 先进marangoni干燥 | |
| 加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制 | |
| 化学液/水, 直排&回收 | |
| 可靠性能： | uptime≥95% breakage≤1/100000 |
| mtbf≥650 hours mttr≤3 hours | |
| 软件控制： | pc plc gui 控制, 支持schedule、eap、fdc功能 |
| 设备型号： | fy-3000s |
| 晶圆尺寸： | 300mm |
| 腔 体： | 4~24 个腔体（可定制） |
| vacuum or grip方式 | |
| 4~5 个dispenser，2~3种化学液 | |
| 排风分离：酸，碱，有机化学液分开排放 | |
| e f e m ： | 2 or 4 smif/foup, 1 index robot, 1or 2wtr |
| 化学药液： | 支持c.c.s.s / l.c.s.s supply |
| 化学液泵循环 | |
| 加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制 | |
| 化学液/水, 直排&回收 | |
| 配 置： | 高清摄像头、离子发生器、臭氧发生器（可选） |
| 可靠性能： | uptime≥95% breakage≤1/100000 |
| mtbf≥500 hours mttr≤3 hours | |
| 软件控制： | pc plc gui 控制, 支持eap、fdc等功能 |