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单片湿法刻蚀清洗设备
设备型号：fy-1500s, fy-2000s, fy-3000s（支持smif或 foup）
晶圆尺寸：150mm, 200mm, 300mm
腔 体 ：4~24 个腔体（可定制）
vacuum or grip方式
4~5 个dispenser，2~3种化学液
排风分离：酸，碱，有机化学液分开排放
晶圆尺寸：150mm, 200mm, 300mm
腔 体 ：4~24 个腔体（可定制）
vacuum or grip方式
4~5 个dispenser，2~3种化学液
排风分离：酸，碱，有机化学液分开排放
e f e m ：2 or 4 smif/foup, 1 index robot, 1or 2wtr
化学药液： 支持c.c.s.s / l.c.s.s
化学液泵循环
加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制
化学液/水, 直排&回收
配 置： 高清摄像头、离子发生器、臭氧发生器（可选）
可靠性能： uptime≥95% breakage≤1/10000
mtbf≥500hours mttr≤3 hours
软件控制： pc plc gui 控制, 支持eap、fdc等功能
化学药液： 支持c.c.s.s / l.c.s.s
化学液泵循环
加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制
化学液/水, 直排&回收
配 置： 高清摄像头、离子发生器、臭氧发生器（可选）
可靠性能： uptime≥95% breakage≤1/10000
mtbf≥500hours mttr≤3 hours
软件控制： pc plc gui 控制, 支持eap、fdc等功能